申请/专利权人：太仓市哲泰天产品设计有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN110854243B

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2024.03.08#专利申请权的转移;2020.03.24#实质审查的生效;2020.02.28#公开

摘要：本发明公开了一种氮氧化硅PERC背钝化方法及钝化炉，通过阶梯设置的温度进行钝化，并且在其中加入N2O，能够提高背钝化的效果；另外，增加换热机构，使得炉门打开时，将端部气体传递至炉管尾端，尽可能减少热量的丧失，进而节约能源。加热层采用独立控制的电热丝作为加热源，降低了设备成本，并且对炉内温度实现分区控制，使温度控制更加精确。

主权项：1.一种氮氧化硅PERC背钝化方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，启动钝化炉，对其进行预热，使其加热至350℃，保温20分钟；第二步，将电池片的石墨舟放入钝化炉内，保持炉内温度350℃，通入NH3和N2O，并且其重量比例为1:2，保温110-120秒；第三步，通入SiH4、NH3和N20的混合气体，并且其重量比例为1:3:6，保温900-1000秒；第四步，钝化炉内升温至480℃，通入SiH4和NH3并且其重量比例为1:3，保温180-200秒；第五步，通入SiH4和NH3，并且其重量比例为1:4，保温75-85秒；第六步，通入SiH4和NH3，并且其重量比例为1:5，保温400-430秒；第七步，取出石墨舟。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 太仓市哲泰天产品设计有限公司 一种氮氧化硅PERC背钝化方法及钝化炉

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