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【实用新型】片材载具和钝化设备_拉普拉斯新能源科技股份有限公司_202420297914.8 

申请/专利权人:拉普拉斯新能源科技股份有限公司

申请日:2024-02-19

公开(公告)日:2024-04-16

公开(公告)号:CN220796681U

主分类号:H01L21/673

分类号:H01L21/673;H01L31/18

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.16#授权

摘要:本公开涉及光伏技术领域,具体涉及一种片材载具和钝化设备,解决了由于硅片的非断面暴露在外,导致硅片的非断面存在绕镀现象的问题。本公开的实施例提供的片材载具应用于片状材料的断面钝化工艺。片材载具包括腔体、承载主体和阻挡结构。腔体具有第一开口,承载主体被配置为承载片状材料,承载主体能够由第一开口进出腔体。阻挡结构被配置为在承载主体进入腔体后部分封闭第一开口,以与第一开口之间形成空隙,空隙供钝化工艺中使用的钝化气体通过。承载主体包括第二开口,用于在承载主体进入腔体后使得片状材料的断面暴露于空隙,钝化气体对靠近第一开口的断面进行钝化,并利用腔体和承载主体对非断面进行遮挡,以减少非断面的绕镀现象。

主权项:1.一种片材载具,其特征在于,应用于片状材料的断面钝化工艺,所述片材载具包括:腔体,具有第一开口;承载主体,被配置为承载至少一片所述片状材料,其中,所述承载主体能够由所述第一开口进出所述腔体;阻挡结构,被配置为在所述承载主体进入所述腔体后部分封闭所述第一开口,以与所述第一开口之间形成空隙,所述空隙供所述钝化工艺中使用的钝化气体通过;其中,所述承载主体包括第二开口,所述第二开口用于在所述承载主体进入所述腔体后使得所述片状材料的断面暴露于所述空隙。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 片材载具和钝化设备

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