申请/专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司

申请日：2021-12-31

公开（公告）日：2022-04-01

公开（公告）号：CN114262873A

主分类号：C23C14/34(20060101)

分类号：C23C14/34(20060101);C23C14/32(20060101);C22C27/06(20060101);B22F9/04(20060101);B22F3/15(20060101);B22F1/142(20220101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.04.19#实质审查的生效;2022.04.01#公开

摘要：本发明提供一种CrSi基合金靶材及其制备方法，所述CrSi基合金靶材按照原子百分比由以下成分组成：Si1‑30％；Me0‑10％，余量为Cr；其中，Me选自B、Nb、W、Mo、Ta、V元素中的一种或多种。本发明通过选择CrSi2合金粉、Cr粉，或者选择CrSi2合金粉、Cr粉及Me粉作为预合金粉末来制备CrSi基合金靶材；制备得到的CrSi基合金靶材相对密度高，晶粒尺寸均匀，且可有效解决传统工艺存在的靶材脆性大，易开裂、难加工的问题。

主权项：1.一种CrSi基合金靶材，其特征在于，按照原子百分比由以下成分组成：Si1-30％；Me0-10％，余量为Cr；其中，Me选自B、Nb、W、Mo、Ta、V元素中的一种或多种。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 一种CrSi基合金靶材及其制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD