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申请/专利权人：郑州大学
申请日：2024-01-22
公开（公告）日：2024-04-26
公开（公告）号：CN117926194A
主分类号：C23C14/34
分类号：C23C14/34;C04B35/01;C04B35/622;C04B35/453;C04B35/63
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要：本发明公开了稀土掺杂IZO氧化物靶材及其制备方法，涉及氧化物靶材技术领域；其成分包括：稀土氧化物、氧化铟和氧化锌；其中，该靶材的R、In和Zn的原子比例满足以下关系：RxIn24‑xZn36O72R＝Pr、Nd、Tb，x＝1、2、3、4、5、6。本发明选择IZOIn2ZnkOk+3中本征导电率最好的In2Zn3O6为靶材主体材料，通过掺杂微量稀土元素后不会明显降低主体材料原来导电率，同时提高了作为TFT使用的稳定性。由于使用了大量氧化锌代替了氧化铟的使用量，本发明提供的稀土掺杂IZO氧化物靶材及其制备方法具有高性能和原料成本低的特点。
主权项：1.稀土掺杂IZO氧化物靶材，其特征在于，其成分包括：稀土氧化物、氧化铟和氧化锌；其中，该靶材的R、In和Zn的原子比例满足以下关系：RxIn24-xZn36O72R＝Pr、Nd、Tb，x＝1、2、3、4、5、6。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 郑州大学 稀土掺杂IZO氧化物靶材及其制备方法
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