申请/专利权人:晶澳(扬州)太阳能科技有限公司
申请日:2022-07-05
公开(公告)日:2022-09-27
公开(公告)号:CN115117202A
主分类号:H01L31/18
分类号:H01L31/18;H01L31/0236
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.10.18#实质审查的生效;2022.09.27#公开
摘要:本发明公开了一种太阳能电池的制备方法和太阳能电池。该制备方法包括:步骤一,对硅基体进行制绒形成绒面;步骤二,对硅基体的一个绒面进行湿法刻蚀,并在湿法刻蚀后的硅基体的表面制备图案化掩膜层,其中,图案化掩膜层覆盖硅基体的多个第一区域,暴露硅基体的多个第二区域,所述第二区域与所述第一区域交替设置;步骤三,对第二区域重新进行制绒;步骤四,去除图案化掩膜层,并在所述第一区域设置细栅。该制备方法通过对硅基体上对应于细栅的第一区域进行制绒并湿法刻蚀,可以得到相比于绒面接触面积更小的湿刻面,降低了硅基体表面与细栅之间的复合速度,提升太阳能电池的开路电压和光电转换效率。
主权项:1.一种太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括:步骤一,对硅基体进行制绒形成绒面;步骤二,对硅基体的一个所述绒面进行湿法刻蚀,并在湿法刻蚀后的硅基体的表面制备图案化掩膜层,其中,所述图案化掩膜层覆盖硅基体的多个第一区域,暴露硅基体的多个第二区域,所述第二区域与所述第一区域交替设置;步骤三,对所述第二区域重新进行制绒;步骤四,去除所述图案化掩膜层,并在所述第一区域设置细栅。
全文数据:
权利要求:
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