申请/专利权人：张家港中贺自动化科技有限公司

申请日：2019-12-30

公开（公告）日：2022-09-27

公开（公告）号：CN113126311B

主分类号：G02B27/58

分类号：G02B27/58;G02B27/00;G01N21/956

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.27#授权;2021.08.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明提供一种宽谱线高分辨率光学系统，其包括：光源单元、照明单元、成像单元；光源单元包括：光源以及聚光元件，照明单元包括：匀光部件和第二照明镜头，经过第二照明镜头的光束投射至第二照明面；成像单元包括：第一成像镜头，其包括依次设置的：第一成像镜组、第二成像镜组以及第三成像镜组。本发明的宽谱线高分辨率光学系统区别于现有技术，其检测视场FOV较小时，数值孔径NA比较大，接近于1，分辨率比较高；当检测视场FOV变大时，数值孔径NA不会相应减小，而是保持基本不变，其分辨率也会保持基本不变。NA*FOV会随着FOV增大而按比例增大，实现高分辨率大视场的效果，最终实现高分辨率的快速检测。

主权项：1.一种宽谱线高分辨率光学系统，其特征在于，所述宽谱线高分辨率光学系统适用于紫外波段，其包括：光源单元、照明单元、成像单元；所述光源单元包括：光源以及聚光元件，所述聚光元件将所述光源发出的光束汇聚到第一照明面，所述照明单元接受来自所述光源单元的光束，其包括：匀光部件和第二照明镜头，经过所述第二照明镜头的光束投射至第二照明面；所述第二照明镜头包括依次设置的：第一照明镜组、照明孔径光阑以及第二照明镜组；匀光部件包括可以相互切换的至少两种，至少两种匀光部件有不同几何尺寸，对应光学系统物方视场FOV不同时，可获得适配的照明条件；匀光部件切换时保持出口位置不变，匀光部件入口位置因为几何尺寸不同而变化；来自所述光源单元的光束依次经所述匀光部件和第二照明镜头投射于一物面上；所述照明单元和成像单元之间还设置有光路分离元件；来自所述照明单元光束依次经过所述光路分离元件、第二成像镜组、第一成像镜组到达所述物面，物平面发出的光线经过第一成像镜组后形成中间像，中间像经过第二成像镜组后形成平行光或近似平行光经第三成像镜组后再成像到有限远处的像面；所述成像单元接受来自所述物面反射和散射的光束，其包括：第一成像镜头，来自所述物面的光束经第一成像镜头进行成像，所述第一成像镜头包括依次设置的：第一成像镜组、第二成像镜组以及第三成像镜组；所述第一成像镜组包括由物面侧指向像面侧的：第一片复合透镜、第二片透镜、第三片反射镜；所述第一片复合透镜的物面侧曲面包括一个反射面，第一片复合透镜的物面侧曲面的中央部分是透过面，其周围部分为朝向像方的反射面；所述第三片反射镜物面侧曲面为凹反射面，且第三片反射镜为中央开有通孔可以允许光束穿过。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 张家港中贺自动化科技有限公司 一种宽谱线高分辨率光学系统

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