申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2022-05-19

公开（公告）日：2022-11-29

公开（公告）号：CN115410950A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;G03F7/32

优先权：["20210526 JP 2021-088625"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2022.11.29#公开

摘要：本发明涉及杯、液处理装置以及液处理方法。抑制从基板飞散的处理液在该杯的内周面向该基板弹回。一种杯，其包围基板以对该基板进行液处理，其中，该杯构成为包括：第1槽，其在所述杯的内周面在纵向上伸长地设置；多个第2槽，其以各自的一端与所述第1槽分别连接的方式设置，在朝向伸长方向观察时的该多个第2槽各自的截面积小于所述第1槽的截面积。

主权项：1.一种杯，其包围基板以对该基板进行液处理，其中，该杯包括：第1槽，其在所述杯的内周面在纵向上伸长地设置；以及多个第2槽，其以各自的一端与所述第1槽分别连接的方式设置，在朝向伸长方向观察时的该多个第2槽各自的截面积小于所述第1槽的截面积。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 杯、液处理装置以及液处理方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD