申请/专利权人：华侨大学

申请日：2022-09-15

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115420206A

主分类号：G01B11/06

分类号：G01B11/06;G01B11/22

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本申请涉及一种高深宽比微孔的测量装置及测量方法，该装置包括相机、多通道光源、光束调节装置及载物台，所述载物台用于放置待测微孔样品；所述相机与所述载物台沿竖直方向同轴设置，所述相机与所述载物台之间设置光束调节装置；所述多通道光源用于输出不同的单色光源，并经由所述光束调节装置实现该测量所需光束的光强与方向转折；所述相机用于获取任一两种由待测微孔样品同一位置反射出的单色光源，并发送至计算机，采用多通道光源发出不同波段的光源，DMD调制单点光进行照射微孔，通过不同波段光强做差，光强差转高度，从而进行快速求出高深宽比微孔的高度。

主权项：1.一种高深宽比微孔的测量装置，其特征在于：包括相机、多通道光源、光束调节装置及载物台，所述载物台用于放置待测微孔样品；所述相机与所述载物台沿竖直方向同轴设置，所述相机与所述载物台之间设置光束调节装置；所述多通道光源用于输出不同的单色光源，并经由所述光束调节装置实现该测量所需光束的光强与方向转折；所述相机用于获取任一两种由待测微孔样品同一位置反射出的单色光源，并发送至计算机。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华侨大学 一种高深宽比微孔的测量装置及测量方法

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