申请/专利权人：电子科技大学

申请日：2020-12-11

公开（公告）日：2022-12-27

公开（公告）号：CN112653408B

主分类号：H03H3/04

分类号：H03H3/04;H03H9/17;H03H9/19

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.12.27#授权;2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要：本发明公开了工作频率可实时微调的TPoS谐振器及其加工方法，涉及射频微机电系统技术领域，解决温度漂移对谐振器工作频率产生负面影响的问题。本发明包括双端固支梁9直接与SOI基底1连接，通过连接梁10与带电掺杂硅悬浮平台11连接，双端固支梁9的顶部设置有4×2的电极阵列，通过对应的金属引线分别与正极性电极盘8和负极性电极盘7电气连接。本发明旨在减小谐振器频率对加工工艺误差的敏感度，降低加工成本，本发明实现工作频率可实时调整的谐振器。

主权项：1.一种工作频率可实时微调的TPoS谐振器，其特征在于，包括SOI基底（1），位于SOI基底（1）顶端的输入电极盘（2）、输出电极盘（3）和接地电极盘（4），还包括通过支撑梁（5）的固定，悬浮于SOI基底（1）中心处的谐振体（6），还包括谐振体两侧的带电掺杂硅悬浮平台（11）与通过连接梁（10）连接带电掺杂硅悬浮平台（11）的双端固支梁（9），以及双端固支梁（9）的正极性电极盘（8）和负极性电极盘（7）和悬浮平台电极盘（12）；所述输入电极盘（2）和输出电极盘（3）对称放置在SOI基底（1）顶端的谐振体（6）的两侧，且输入电极盘（2）和输出电极盘（3）的两侧均对称放置有接地电极盘（4）；所述谐振体（6）通过支撑梁（5）与SOI基底（1）固定，谐振体（6）悬浮于SOI基底（1）的中间位置，谐振体（6）顶端的叉指形状的电极，通过对应的金属引线分别与输入电极盘（2）和输出电极盘（3）电气连接；所述带电掺杂硅悬浮平台（11）与谐振体（6）之间存在着一个电容间隙（1101）；带电掺杂硅悬浮平台（11）与SOI基底（1）上表面两侧的悬浮平台电极盘（12）电气相通；双端固支梁（9）直接与SOI基底（1）连接，通过连接梁（10）与带电掺杂硅悬浮平台（11）连接，双端固支梁（9）的顶部设置有4×2的电极阵列，通过对应的金属引线分别与正极性电极盘（8）和负极性电极盘（7）电气连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 电子科技大学 工作频率可实时微调的TPoS谐振器及其加工方法

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