申请/专利权人：电子科技大学

申请日：2020-12-11

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN112653408A

主分类号：H03H3/04(20060101)

分类号：H03H3/04(20060101);H03H9/17(20060101);H03H9/19(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.12.27#授权;2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开

摘要：本发明公开了工作频率可实时微调的TPoS谐振器及其加工方法，涉及射频微机电系统技术领域，解决温度漂移对谐振器工作频率产生负面影响的问题。本发明包括双端固支梁9直接与SOI基底1连接，通过连接梁10与带电掺杂硅悬浮平台11连接，双端固支梁9的顶部设置有4×2的电极阵列，通过对应的金属引线分别与正极性电极盘8和负极性电极盘7电气连接。本发明旨在减小谐振器频率对加工工艺误差的敏感度，降低加工成本，本发明实现工作频率可实时调整的谐振器。

主权项：1.一种工作频率可实时微调的TPoS谐振器，其特征在于，包括SOI基底1，位于SOI基底1顶端的输入电极盘2、输出电极盘3和接地电极盘4，还包括通过支撑梁5的固定，悬浮于SOI基底1中心处的谐振体6，还包括谐振体两侧的带电掺杂硅悬浮平台11与通过连接梁10连接带电掺杂硅悬浮平台11的双端固支梁9，以及双端固支梁9的正极性电极盘8和负极性电极盘7和悬浮平台电极盘12；所述输入电极盘2和输出电极盘3对称放置在SOI基底1顶端的谐振体6的两侧，且输入电极盘2和输出电极盘3的两侧均对称放置有接地电极盘4；所述谐振体6通过支撑梁5与SOI基底1固定，谐振体6悬浮于SOI基底1的中间位置，谐振体6顶端的叉指形状的电极，通过对应的金属引线分别与输入电极盘2和输出电极盘3电气连接；所述带电掺杂硅悬浮平台11与谐振体6之间存在着一个电容间隙1101；带电掺杂硅悬浮平台11与SOI基底1上表面两侧的悬浮平台电极盘12电气相通；双端固支梁9直接与SOI基底1连接，通过连接梁10与带电掺杂硅悬浮平台11连接，双端固支梁9的顶部设置有4×2的电极阵列，通过对应的金属引线分别与正极性电极盘8和负极性电极盘7电气连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 电子科技大学 工作频率可实时微调的TPoS谐振器及其加工方法

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