申请/专利权人：安徽光智科技有限公司

申请日：2022-10-19

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN115572982A

主分类号：C23G5/028

分类号：C23G5/028;C23G5/032;C23F1/24;C30B35/00;C30B33/00;C30B33/10;C30B29/08;B08B3/08;B08B3/12

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.01.24#实质审查的生效;2023.01.06#公开

摘要：一种锗锭表面处理方法包括步骤：将锗锭表面的无机杂质擦拭干净，将锗锭放入支撑架，将支撑架连同锗锭放入盛有去离子水的第一槽并超声清洗；之后，将支撑架连同锗锭移入盛有三氯乙烷的第二槽并超声清洗；之后，将支撑架连同锗锭移入盛有丙酮的第三槽并超声清洗；之后，将支撑架连同锗锭盛有甲醇的第四槽并超声清洗；之后，将支撑架连同锗锭移入盛有去离子水的第五槽并超声清洗；之后，将支撑架连同锗锭移入盛有酸腐蚀液的第六槽腐蚀；之后，将支撑架连同锗锭从第六槽取出，用去离子水冲洗锗锭，之后用甲醇淋洗锗锭，然后将锗锭浸没在盛有甲醇的容器中，之后将用甲醇浸没的锗锭连同容器放入洁净台内保存。由此，能去除锗锭表面的有机物。

主权项：1.一种锗锭表面处理方法，其特征在于，包括步骤：S1，将锗锭表面的无机杂质擦拭干净，将锗锭放入支撑架中，将支撑架连同锗锭放入盛有去离子水的第一槽中并使去离子水浸没锗锭，在第一槽中用去离子水并采用超声进行锗锭的表面清洗；S2，在步骤S1完成之后，将支撑架连同锗锭从第一槽移入盛有三氯乙烷的第二槽并使三氯乙烷浸没锗锭，在第二槽中用三氯乙烷并采用超声进行锗锭的表面清洗；S3，在步骤S2完成之后，将支撑架连同锗锭从第二槽移入盛有丙酮的第三槽并使丙酮浸没锗锭，在第三槽中用丙酮并采用超声进行锗锭的表面清洗；S4，在步骤S3完成之后，将支撑架连同锗锭从第三槽移入盛有甲醇的第四槽并使甲醇浸没锗锭，在第四槽中用甲醇并采用超声进行锗锭的表面清洗；S5，在步骤S4完成之后，将支撑架连同锗锭从第四槽移入盛有去离子水的第五槽并使去离子水浸没锗锭，在第五槽中用去离子水并采用超声进行锗锭的表面清洗；S6，在步骤S5完成之后，将支撑架连同锗锭从第五槽移入盛有酸腐蚀液的第六槽中进行表面腐蚀；S7，在步骤S6完成之后，将支撑架连同锗锭从第六槽中取出，用去离子水冲洗锗锭，之后用甲醇淋洗锗锭以脱除去离子水后，然后将锗锭浸没在盛有甲醇的容器中，之后将用甲醇浸没的锗锭连同容器放入洁净台内保存。

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权利要求：

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