申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所

申请日：2022-01-28

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN114486199B

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.14#授权;2022.05.31#实质审查的生效;2022.05.13#公开

摘要：一种空间光调制器相位调制量标定装置和标定方法，装置包括波长调谐激光器、空间滤波器、准直镜、线偏振片、分束器、参考镜、待测空间光调制器、反射镜、成像镜头组、相机和计算机。本发明可对纯相位型液晶空间光调制器的相位调制量进行标定，误差优于2π200。使用本发明标定的液晶空间光调制器可调制出误差峰谷值小于等于λ20的波前，从而达到高精度波面补偿的效果。本发明可应用于基于液晶空间光调制器的波前校正、波前补偿和自适应光学等领域。

主权项：1.一种空间光调制器相位调制量标定装置，其特征在于，包括：波长调谐激光器101、空间滤波器102、准直镜103、线偏振片104、分束器105、参考镜106、待测空间光调制器107、反射镜108、成像镜头组109、相机110和计算机111；沿所述的波长调谐激光器101出射方向依次是所述的空间滤波器102、准直镜103、线偏振片104和分束器105，所述的分束器105将入射激光分成了反射光和透射光，在所述的透射光方向是所述的参考镜106，在所述的反射光方向是所述的待测空间光调制器107；所述的透射光在所述的参考镜106表面上发生反射后，经过所述的分束器105反射形成参考光，所述的反射光在所述的待测空间光调制器107表面上发生反射后，透过所述的分束器105形成测量光；所述的参考光和测量光经过所述的反射镜108反射后，经所述的成像镜头组109被所述的相机110收集，所述的相机110输出端与所述的计算机111的输入端相连，所述的计算机111的输出端与所述的波长调谐激光器101的控制端相连，所述的计算机111的输出端与所述的待测空间光调制器107的输入端相连；所述的线偏振片104的透偏方向与所述的待测空间光调制器107液晶区域的长边方向相同。

全文数据：

权利要求：

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