申请/专利权人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院;锐立平芯微电子(广州)有限责任公司

申请日：2022-12-07

公开（公告）日：2023-03-21

公开（公告）号：CN115831794A

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.04.07#实质审查的生效;2023.03.21#公开

摘要：本申请提供了一种故障诊断方法和故障诊断装置。在该故障诊断方法中，利用获取到的晶圆的缺陷信息和晶圆的故障位元信息，筛选出晶圆的致命缺陷，即筛选出导致晶圆中位元故障的晶圆缺陷；之后，根据获取到的晶圆的缺陷诊断结果信息，确定出造成致命缺陷的原因。由于致命缺陷是导致位元故障的晶圆缺陷，所以造成致命缺陷的原因即为导致位元故障的原因，因此本申请提供的故障诊断方法可以及时诊断出导致晶圆中位元故障的原因。

主权项：1.一种故障诊断方法，其特征在于，包括：获取晶圆的缺陷信息、晶圆的缺陷诊断结果信息以及晶圆的故障位元信息；利用所述故障位元信息和所述缺陷信息，筛选出晶圆的致命缺陷；所述致命缺陷是导致晶圆中位元故障的晶圆缺陷；根据所述缺陷诊断结果信息，确定造成所述致命缺陷的原因。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院;锐立平芯微电子(广州)有限责任公司 一种故障诊断方法和故障诊断装置

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