申请/专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司

申请日：2019-06-05

公开（公告）日：2023-04-07

公开（公告）号：CN110309549B

主分类号：G06F30/392

分类号：G06F30/392;H01L27/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.04.07#授权;2019.11.01#实质审查的生效;2019.10.08#公开

摘要：本发明公开了一种通过布尔运算放置Fuse图形的方法,包含：步骤一，定义划片槽图形；步骤二，定义Fuse图形单元的布局；步骤三，定义划片槽图形与Fuse图形单元之间的间距，通过布尔运算消除岛型图案；步骤四，将布尔运算后的图形与芯片主数据进行组合。本发明通过布尔运算，自动将划片槽图形与Fuse图形单元进行合并，并去除不能重叠的部分，无需手动切除并确认Fuse图形单元放置是否正确。

主权项：1.一种通过布尔运算放置Fuse图形的方法，其特征在于：步骤一，定义划片槽图形；步骤二，定义Fuse图形单元的布局；步骤三，定义划片槽图形与Fuse图形单元之间的间距，扩大Fuse图形单元区域至所述间距的大小，通过减法运算的布尔运算消除岛型图案；扩大Fuse图形单元区域至定义的间距大小后，原Fuse图形单元中，会形成与其他Fuse图形不重叠的区域，形成岛型图案；步骤四，将布尔运算后的图形与芯片主数据进行组合。

全文数据：通过布尔运算放置Fuse图形的方法技术领域本发明涉及半导体器件制造领域，特别是指一种通过布尔运算放置Fuse图形的方法。背景技术熔丝结构Fuse是芯片内的广泛采用的一种电路结构，其用途很多，比如保护电路结构免受过流或者过载等，在一些对于数据保护比较敏感的场合也会使用熔丝结构，比如在一些芯片内写入某些数据之后，我们不希望芯片内的数据被读出或者被破坏，那么就会采用熔丝结构，通过熔丝结构写入数据后，采用一定的方法使熔丝熔断，比如通过一定大小的电流以及控制电流通过的时间来使Fuse熔断，切断芯片内部数据与外界的数据通道，就能起到保护芯片内部数据的目的。比较常见的应用场合是一些保密的数据需求，或者版权类的，或者禁止他人修改的，等等。在芯片设计中经常会用到Fuse结构，晶圆测试时保持某信号的连接性，而在封装时又利用切割断开该通路。在以往很多产品中主要通过手动放置Fuse图形，后期通过划片槽进行划片。如图1所示，图中包含划片槽以及位于划片槽中心的Fuse图形。Fuse图形放置于划片槽中心处，后期划片时被去除。通过手动放置Fuse图形容易出现问题，由于Fuse图形较小，通过目视检查容易导致遗漏。目前手动放置Fuse图形的诸多弊端，从整个生产环境、材料、设备、人工、方法以及测量等方面都存在一些难以解决的问题，比如整个生产环境没有非高熔点产品的内部数据检查流程、检测工具无法检查出晶圆破损窗口以外的层次，人工检查没有严格检查Fuse结构等等。发明内容本发明所要解决的技术问题在于提供一种通过布尔运算放置Fuse图形的方法。为解决上述问题，本发明所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法,包含：步骤一，定义划片槽图形；步骤二，定义Fuse图形单元的布局；步骤三，定义划片槽图形与Fuse图形单元之间的间距，通过布尔运算消除岛型图案；步骤四，将布尔运算后的图形与芯片主数据进行组合。进一步地，所述步骤一中，在晶圆的划片槽中放置划片槽图形。进一步地，所述步骤二中，定义Fuse图形单元的布局，在划片槽中初步确定Fuse图形的放置区域。进一步地，所述步骤三中，定义好划片槽图形与Fuse图形单元之间间距后，扩大Fuse图形单元区域至所述间距的大小。进一步地，扩大Fuse图形单元区域至定义的间距大小后，原Fuse图形单元中，会形成与其他Fuse图形不重叠的区域，形成岛型图案。进一步地，所述步骤三中，布尔运算为减法运算。进一步地，通过布尔运算，将与其他Fuse图形单元不重叠的岛型图案进行消除。进一步地，所述的划片槽图形与Fuse图形单元，分属不同的层次。进一步地，所述步骤四中，按照最小的岛型图案的宽度，定义划片槽图形和Fuse图形单元之间的间距。本发明所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法，通过布尔运算，自动将划片槽图形与Fuse图形单元进行合并，并去除不能重叠的部分，无需手动切除并确认Fuse图形单元放置是否正确。附图说明图1是划片槽与Fuse图形的示意图。图2是本发明定义划片槽图形的示意图。图3是本发明定义Fuse图形单元的示意图。图4是定义划片槽图形与Fuse图形单元之间的间距，通过布尔运算消除岛型图案的示意图。图5是将布尔运算后的Fuse图形单元与芯片主数据进行组合的示意图。图6是Fuse图形放置于不同位置的示意图。图7是本发明通过布尔运算放置Fuse图形的方法的流程图。具体实施方式布尔运算是数字符号化的逻辑推演法，包括联合、相交、相减。在图形处理操作中引用了这种逻辑运算方法以使简单的基本图形组合产生新的形体，并由二维布尔运算发展到三维图形的布尔运算。由于布尔在符号逻辑运算中的特殊贡献，很多计算机语言中将逻辑运算称为布尔运算，将其结果称为布尔值。布尔运算用数学方法研究逻辑问题，成功地建立了逻辑演算。用等式表示判断，把推理看作等式的变换。这种变换的有效性不依赖人们对符号的解释，只依赖于符号的组合规律。这一逻辑理论人们常称它为布尔代数。20世纪30年代，逻辑代数在电路系统上获得应用，随后，由于电子技术与计算机的发展，出现各种复杂的大系统，它们的变换规律也遵守布尔所揭示的规律。本发明所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法，主要是用来解决现有的在划片槽中放置Fuse图形需要大量的人工操作的问题，大量的Fuse图形需要手动放置，在现有的深亚微米、大尺寸晶圆的制作上带来诸多不便，而且由于Fuse图形的尺寸一般都极小，在进行错误检查时，尤其是目视检查时，很难保证准确度。本发明所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法,包含：步骤一，定义划片槽图形；步骤二，定义Fuse图形单元的布局；步骤三，定义划片槽图形与Fuse图形单元之间的间距，通过布尔运算消除岛型图案；步骤四，将布尔运算后的图形与芯片主数据进行组合。具体来说，如图2所示，在晶圆上的划片槽区域首先定义划片槽图形，将必要的一些划片槽图形放置到划片槽中。因划片槽比较细小，图中仅示出了划片槽，划片槽的中心线成为后续进行划片的走线。然后，按照如图3所示，定义Fuse图形单元的布局，在划片槽中初步确定Fuse图形的放置区域，进行Fuse图形单元的初步放置。划片槽图形与Fuse图形属于不同的层次。初步定义好划片槽图形与Fuse图形单元之间间距D1后，如图4所示，扩大Fuse图形单元区域至所述间距D1的大小。扩大Fuse图形单元区域至定义的间距D1大小后，原Fuse图形单元中，会形成与其他Fuse图形不重叠的区域，形成岛型图案，如图4中的中图所示，划片槽图形与Fuse图形属于不同的层次，扩大Fuse图形单元区域时，Fuse图形与其他图形之间逐步重叠，剩余一些不重叠的图形，成为孤立的岛型图案。接着，执行减法运算的布尔运算，包括联合、相交、相减，使简单的基本图形组合产生新的形体。将与其他Fuse图形单元不重叠的岛型图案进行消除。按照岛型图案的最小的宽度，定义划片槽图形和Fuse图形单元之间的间距。通过布尔运算，自动将划片槽图形与Fuse图形单元进行合并，并去除不能重叠的部分，无需手动切除并确认Fuse图形单元放置是否正确。以上仅为本发明的优选实施例，并不用于限定本发明。对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

权利要求：1.一种通过布尔运算放置Fuse图形的方法，其特征在于：步骤一，定义划片槽图形；步骤二，定义Fuse图形单元的布局；步骤三，定义划片槽图形与Fuse图形单元之间的间距，通过布尔运算消除岛型图案；步骤四，将布尔运算后的图形与芯片主数据进行组合。2.如权利要求1所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法，其特征在于：所述步骤一中，在晶圆的划片槽中放置划片槽图形,进行划片槽图形的布局。3.如权利要求1所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法，其特征在于：所述步骤二中，定义Fuse图形单元的布局，在划片槽中初步确定Fuse图形的放置区域。4.如权利要求1所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法，其特征在于：所述步骤三中，定义好划片槽图形与Fuse图形单元之间间距后，扩大Fuse图形单元区域至所述间距的大小。5.如权利要求4所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法，其特征在于：扩大Fuse图形单元区域至定义的间距大小后，原Fuse图形单元中，会形成与其他Fuse图形不重叠的区域，形成岛型图案。6.如权利要求1所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法，其特征在于：所述步骤三中，布尔运算为减法运算。7.如权利要求5或6所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法，其特征在于：通过布尔运算，将与其他Fuse图形单元不重叠的岛型图案进行消除。8.如权利要求1所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法，其特征在于：所述的划片槽图形与Fuse图形单元，分属不同的层次。9.如权利要求1所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法，其特征在于：所述步骤四中，按照最小的岛型图案的宽度，定义划片槽图形和Fuse图形单元之间的间距。10.如权利要求1所述的通过布尔运算放置Fuse图形的方法，其特征在于：通过布尔运算，自动将划片槽图形与Fuse图形单元进行合并，并去除不能重叠的部分，无需手动切除并确认Fuse图形单元放置是否正确。

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