申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司

申请日：2023-01-17

公开（公告）日：2023-04-14

公开（公告）号：CN218867041U

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L21/673;H01L33/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.04.14#授权

摘要：本实用新型提供了一种抽测指示器，属于半导体技术领域，包括机台和用于置入机台内的料盒，料盒内设有多个插槽，以用于插接晶圆；多个插槽中至少有部分插槽分别位于料盒内的相对两侧，插槽包括平直部，及沿平直部的轴向弯曲延伸的抵靠部，任一抵靠部与其相对的一抵靠部的弯曲方向相互对称，以用于将放置于插槽内的晶圆的至少部分限制于抵靠部内。通过该设置，实现每个晶圆可以间隔放置在料盒内，从而避免了现有技术中因多个晶圆垒叠在一起的情况。

主权项：1.一种抽测指示器，包括机台，其特征在于，所述指示器还包括用于置入所述机台内的料盒，所述料盒内设有多个插槽，以用于插接晶圆；所述多个插槽中至少有部分所述插槽分别位于所述料盒内的相对两侧，所述插槽包括平直部，及沿所述平直部的轴向弯曲延伸的抵靠部，任一所述抵靠部与其相对的一所述抵靠部的弯曲方向相互对称，以用于将放置于所述插槽内的所述晶圆的至少部分限制于所述抵靠部内；其中，所述料盒相对的两侧壁均向外延伸出凸起件，所述凸起件用于将所述料盒的顶部搭接于所述机台上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江西兆驰半导体有限公司 一种抽测指示器

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