申请/专利权人：北京万集科技股份有限公司

申请日：2023-01-06

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN116148976A

主分类号：G02B6/124

分类号：G02B6/124;G02B6/125;G02F1/295;G02B6/132;G02B6/136;G02B6/12

优先权：["20221230 CN 2022117318069"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要：本发明涉及光波导技术领域，提供一种波导结构及其制备方法、光学天线及其制备方法、光学相控阵芯片。波导结构包括衬底、束缚层和波导层，束缚层包括第一包覆层和位于第一包覆层中的光束缚结构，第一包覆层的折射率低于光束缚结构的折射率，波导层包括第二包覆层和位于第二包覆层中的芯层，第二包覆层的折射率低于芯层的折射率。其中，工作波长所对应的频率高于芯层的截止频率、且低于光束缚结构的截止频率，束缚层的设置能够提升波导层对模场的束缚能力，抑制波导结构或光学天线之间的功率串扰。

主权项：1.一种波导结构，其特征在于：所述波导结构包括衬底、束缚层和波导层，所述束缚层包括第一包覆层和位于所述第一包覆层中的光束缚结构，所述第一包覆层的折射率低于所述光束缚结构的折射率，所述波导层包括第二包覆层和位于所述第二包覆层中的芯层，所述第二包覆层的折射率低于所述芯层的折射率，所述芯层的截止频率低于所述光束缚结构的截止频率；其中，所述束缚层的数量为一个，所述束缚层设置于所述波导层靠近所述衬底的一侧或远离所述衬底的一侧；或者，所述束缚层的数量为两个，两个所述束缚层分别位于所述波导层的两侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京万集科技股份有限公司 波导结构及其制备方法、光学天线、光学相控阵芯片

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