申请/专利权人：TCL科技集团股份有限公司

申请日：2023-02-24

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN219084973U

主分类号：G01Q60/38

分类号：G01Q60/38

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权

摘要：本申请提供一种原子力显微镜以及材料表面检测系统，原子力显微镜包括：原子力显微组件，原子力显微组件具有测量探针；成像组件，成像组件包括第一摄像镜头以及第二摄像镜头，第一摄像镜头和第二摄像镜头分别位于测量探针相邻的两侧；其中，第一摄像镜头用于获取测量探针一侧的第一轮廓像，第二摄像镜头用于获取测量探针另一侧的第二轮廓像，以结合第一轮廓像和第二轮廓像判断测量探针是否异常。本申请可以结合第一轮廓像和第二轮廓像判断测量探针是否异常例如针尖边钝或者被污染，避免测试过程由于针尖被污染或针尖变钝而导致AFM图像准确性降低的现象。

主权项：1.一种原子力显微镜，其特征在于，包括：原子力显微组件，所述原子力显微组件具有测量探针；成像组件，所述成像组件包括第一摄像镜头以及第二摄像镜头，所述第一摄像镜头和所述第二摄像镜头分别位于所述测量探针相邻的两侧；其中，所述第一摄像镜头用于获取所述测量探针一侧的第一轮廓像，所述第二摄像镜头用于获取所述测量探针另一侧的第二轮廓像，所述第一轮廓像和所述第二轮廓像用于判断所述测量探针是否异常。

全文数据：

权利要求：

百度查询： TCL科技集团股份有限公司 原子力显微镜以及材料表面检测系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD