申请/专利权人：江苏昌耐能源科技有限公司

申请日：2022-12-02

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN219083781U

主分类号：F27D11/02

分类号：F27D11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权

摘要：本实用新型公开了一种半导体热处理设备中的管式加热炉，包括管式加热炉体，所述管式加热炉体包括若干组加热模块和炉体外壳组成，所述加热模块通过保温层和若干组加热丝组成，所述加热丝组包括上组加热丝、下组加热丝、左组加热丝和右组加热丝。本实用新型将管式加热炉体分为若干加热模块组成，每个模块可根据加热区的长短自由定制长度，每个温区都可以独立控制温度，保证了炉内产品整体温度的均匀性，每一个分区都能通过热电偶控制其功率，使炉内的产品处在一个均匀的热场中，从而均匀控制硅片的表面温度，将加热丝组均匀嵌合在加热模块中，降低了生产制造难度，便于大批量生产，每个加热模块都是可以单独安装更换，便于维护。

主权项：1.一种半导体热处理设备中的管式加热炉，包括管式加热炉体10，其特征在于：所述管式加热炉体10包括若干组加热模块30和炉体外壳50组成，所述加热模块30通过保温层20和若干组加热丝组成，所述加热丝组包括上组加热丝31、下组加热丝32、左组加热丝33和右组加热丝34，每组加热丝组中活动连接有相互嵌合的第一加热丝311和第二加热丝312，所述管式加热炉体10的两端均安装有保温圈21，所述管式加热炉体10的内部放置有被加热体40。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏昌耐能源科技有限公司 一种半导体热处理设备中的管式加热炉

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