申请/专利权人：东友精细化工有限公司

申请日：2022-11-09

公开（公告）日：2023-05-30

公开（公告）号：CN116179203A

主分类号：C09K13/06

分类号：C09K13/06;H01L27/12;H01L21/77

优先权：["20211126 KR 10-2021-0165924"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.06.16#实质审查的生效;2023.05.30#公开

摘要：提供了一种铟金属氧化物膜蚀刻剂组合物和使用该组合物的图案形成方法。根据本发明的实施例，铟金属氧化物膜蚀刻剂组合物相对于组合物的总重量包含：6重量％至12重量％的硝酸类氧化剂；1.5重量％至7重量％的硫酸氢盐类化合物；0.1重量％至9重量％的环状胺；以及剩余量的水。通过使用蚀刻剂组合物，可以在不损坏金属层或ITO层的情况下形成铟金属氧化物膜图案。

主权项：1.一种铟金属氧化物膜蚀刻剂组合物，其特征在于，相对于组合物的总重量，包含：6重量％至12重量％的硝酸类氧化剂；1.5重量％至7重量％的硫酸氢盐类化合物；0.1重量％至9重量％的环状胺；以及剩余量的水。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东友精细化工有限公司 铟金属氧化物膜蚀刻剂组合物及使用其的图案形成方法

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