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【发明公布】智能车间硅片生产方法_江阴市澳星电气有限公司_202310037744.X 

申请/专利权人:江阴市澳星电气有限公司

申请日:2023-01-10

公开(公告)日:2023-05-30

公开(公告)号:CN116180238A

主分类号:C30B33/00

分类号:C30B33/00;C30B29/06

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2023.05.30#公开

摘要:本发明涉及新能源硅片材料领域,且公开了智能车间硅片生产方法,包括以下步骤:S1:备料,将晶圆棒的两端头切割掉,并将端面和外壁进行磨平抛光;S2:分类存放,将备好的晶圆棒分割成N个小圆柱体,根据导电性,进行标记分类;S3:割料,将分类好的小圆柱体,切割成小长方体,并进行打磨;S4:成品制作,将S3得到物料进行涂胶并于玻璃粘黏在一起,之后进行切割且不割穿玻璃,保证玻璃与物料始终连在一起,完成成品制作,通过自动的完成多个生产工序中的用料和设备的控制,提升生产效率,降低人为出错概率,能够在线对于当前硅片的生产过程自动控制。

主权项:1.智能车间硅片生产方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:备料,将晶圆棒的两端头切割掉,并将端面和外壁进行磨平抛光;S2:分类存放,将备好的晶圆棒分割成N个小圆柱体,根据导电性,进行标记分类;S3:割料,将分类好的小圆柱体,切割成小长方体,并进行打磨;S4:成品制作,将S3得到物料进行涂胶并于玻璃粘黏在一起,之后进行切割且不割穿玻璃,保证玻璃与物料始终连在一起,完成成品制作。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江阴市澳星电气有限公司 智能车间硅片生产方法

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