申请/专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司

申请日：2021-09-15

公开（公告）日：2023-05-30

公开（公告）号：CN113776442B

主分类号：G01B11/06

分类号：G01B11/06;C23C14/52;C23C14/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.30#授权;2021.12.28#实质审查的生效;2021.12.10#公开

摘要：本申请涉及一种光谱检测装置、膜厚实时监控方法及系统、真空镀膜机，所述装置包括：设于真空室外部的光谱仪和光源，设于真空室壳体上连接光源的光输入接口和连接光谱仪的光输出接口，以及旋转样品夹具；光输入接口和光输出接口为真空密封接口；旋转样品夹具上设置有至少一个透光通孔和至少一个样品通孔；光输入接口或光输出接口对准通孔的位置；光源输出检测光通过光输出接口进入真空室；旋转样品夹具旋转样品，检测光垂直入射到样品表面得到测量光通过光输出接口传输至光谱仪进行光谱检测；该技术方案，可以进行全光谱的检测，实时检测样品的光谱数据，特别适用于非规整膜系的薄膜检测，可以提升膜厚监测系统对膜厚检测精度、降低误差。

主权项：1.一种光谱检测装置，其特征在于，包括：设于真空室外部的光谱仪和光源，设于真空室壳体上连接所述光源的光输入接口和连接所述光谱仪的光输出接口，设于真空室顶部用于放置样品的旋转样品夹具，以及设置在旋转样品夹具下部的反射棱镜；其中，所述光输入接口和光输出接口设置在真空室的顶部外壳上；所述光输入接口和光输出接口为真空密封接口；所述旋转样品夹具上设置有至少两个通孔，其中至少一个透光通孔，至少一个样品通孔；所述光输入接口或光输出接口对准所述通孔的位置；所述光源用于输出检测光，并通过光输出接口进入真空室；所述反射棱镜用于对传输的检测光进行反射，并将所述检测光进行反射后垂直入射到样品表面；所述旋转样品夹具用于通过旋转将透光通孔或样品通孔置于检测光的光路上；其中，所述检测光垂直入射到样品表面；所述检测光通过样品表面后得到测量光，并通过所述光输出接口传输至光谱仪；所述光谱仪用于对所述测量光进行光谱检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司 光谱检测装置、膜厚实时监控方法及系统、真空镀膜机

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