申请/专利权人：广东工业大学

申请日：2021-12-29

公开（公告）日：2023-07-18

公开（公告）号：CN114354539B

主分类号：G01N21/41

分类号：G01N21/41;G01N21/3586;G02F1/13

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.07.18#授权;2022.05.03#实质审查的生效;2022.04.15#公开

摘要：本发明公开了一种基于太赫兹波段的液晶调制Fano谐振器的动态可调谐传感器，传感器以金属铜板作为基底，在基底上蚀刻出Fano谐振器结构；Fano谐振器结构包括环状槽、设置在环状槽一侧的沟槽以及位于环状槽和沟槽之间的直通型主通道；主通道连通环状槽和沟槽，主通道穿出基底的两端；环状槽与主通道相切，沟槽正对环状槽与主通道相切的部分，且与主通道垂直；其中沟槽提供的是连续态，环状槽提供的是离散态，传感介质通过主通道进入传感器；基底上环状槽内部为蚀刻形成的铜圆柱体结构，铜圆柱体的外部依次设置有液晶内环和隔离环；基底结构的上下表面均封装有隔离层，在隔离层外部覆盖铜金属极板，用于在隔离层上向基底施加偏置电压。

主权项：1.一种基于太赫兹波段的液晶调制Fano谐振器的动态可调谐传感器，其特征在于，所述传感器以金属铜板作为基底1，在基底1上蚀刻出Fano谐振器结构；所述Fano谐振器结构包括环状槽2、设置在环状槽2一侧的沟槽4以及位于环状槽2和沟槽4之间的直通型主通道3；所述主通道3连通环状槽2和沟槽4，主通道3穿出基底1的两端；环状槽2与主通道3相切，所述沟槽4正对环状槽2与主通道3相切的部分，且与主通道3垂直；其中沟槽4提供的是连续态，环状槽2提供的是离散态，传感介质通过主通道3进入传感器；所述基底1上环状槽2内部为蚀刻形成的铜圆柱体5结构，铜圆柱体5的外部依次设置有液晶内环6和隔离环7；所述基底1结构的上下表面均封装有隔离层8，在隔离层8外部覆盖铜金属极板9，用于在隔离层8上向基底1施加偏置电压。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东工业大学 基于太赫兹波段的液晶调制Fano谐振器的动态可调谐传感器

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