申请/专利权人：河南海川工程设计院有限公司

申请日：2023-06-13

公开（公告）日：2023-08-25

公开（公告）号：CN116640164A

主分类号：C07F7/08

分类号：C07F7/08;C07F7/12;C07F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.09.12#实质审查的生效;2023.08.25#公开

摘要：本发明公开了一种安全性高成本低廉的电子级甲基硅烷制备方法，包括甲基二氯硅烷在催化剂的作用下，发生氢氯原子重排反应，反应产物经分离制得电子级甲基硅烷。本发明通过催化氢氯原子重排，在催化剂作用下，一步反应制备甲基硅烷，无固体副产物，转化效率高，整个系统为密闭系统，物料通过泵或压差在系统内输送，易于全自动化控制，操作安全、稳定。生产成本低廉，容易制得满足半导体行业要求的电子级产品。整个工艺过程，逻辑通顺，运行安全可靠，各个反应产物的分离提纯清晰、明确，提纯过程简单高效，通过单步精制即可得到纯度≥99.999％满足半导体要求的电子级甲基硅烷。

主权项：1.一种安全性高成本低廉的电子级甲基硅烷制备方法，其特征在于，所述方法包括甲基二氯硅烷在催化剂的作用下，发生氢氯原子重排反应，反应产物经分离、提纯制得电子级甲基硅烷。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 河南海川工程设计院有限公司 一种安全性高成本低廉的电子级甲基硅烷制备方法及电子级甲基硅烷

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