申请/专利权人：株式会社村田制作所

申请日：2023-04-13

公开（公告）日：2023-10-20

公开（公告）号：CN116915208A

主分类号：H03H9/17

分类号：H03H9/17;H03H9/13;H03H3/02;H03H9/54

优先权：["20220415 US 63/331,690","20230330 US 18/193,269"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2023.10.20#公开

摘要：一种声学谐振器，包括衬底、由衬底支撑的压电板和膜片。该谐振器还包括叉指换能器IDT，该IDT具有分别从第一母线和第二母线延伸的交织的IDT指状物。该交织的IDT指状物的重叠部分限定了声学谐振器的孔。该谐振器还包括一个或多个介电条，该一个或多个介电条中的每个介电条与IDT指状物的至少一部分重叠，并延伸到孔的边缘与第一母线或第二母线中的对应母线之间的间隙中。该谐振器还包括一个或多个虚设指状物，该虚设指状物中的每个虚设指状物在相邻的IDT指状物之间的位置处从第一母线或第二母线中的一条母线延伸，并朝向一个或多个介电条中的一个介电条延伸到间隙中。

主权项：1.一种声学谐振器，包括：衬底；压电板，由所述衬底支撑；膜片，包括所述压电板的跨越所述衬底中的空腔的部分；叉指换能器IDT，在所述压电板处，所述IDT包括分别从第一母线和第二母线延伸的交织的IDT指状物，其中，所述交织的IDT指状物的重叠部分限定所述声学谐振器的孔；一个或多个介电条，所述一个或多个介电条中的每个介电条与所述IDT指状物中的每个IDT指状物的至少一部分重叠，并延伸到所述孔的边缘与所述第一母线或所述第二母线中的对应母线之间的间隙中；以及一个或多个虚设指状物，所述虚设指状物中的每个虚设指状物在相邻的IDT指状物之间的位置处从所述第一母线或所述第二母线中的一条母线延伸，并朝向所述一个或多个介电条中的一个介电条延伸到所述间隙中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社村田制作所 具有氧化物条和虚设指状物的横向激发薄膜体声学谐振器

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