申请/专利权人：江苏中能硅业科技发展有限公司

申请日：2023-07-20

公开（公告）日：2023-10-24

公开（公告）号：CN116924410A

主分类号：C01B33/035

分类号：C01B33/035;C30B29/06;C30B28/14;C01B33/107;C01B33/04;C01B33/029

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2023.10.24#公开

摘要：本发明提供的一种改良西门子法、流化床法联合生产工艺及装置，所述工艺能够对反应副物进行循环利用，能够大幅提高原料利用率。本发明通过蒸汽热能循环系统能够实现将多晶硅生产过程中的蒸汽通过余热回收装置产生高温蒸汽，满足下游颗粒硅生产工序装置所需蒸汽能耗，减少下游颗粒硅生产工序所需供热装置的投资；还能将下游FBR反应器颗粒硅生产过程中的蒸汽通过余热回收装置产生高温蒸汽，循环至氯氢化流化床中用于反应加热。相比独立分开建设同样规模的颗粒硅和多晶硅产能项目，采用本发明所述装置及工艺能够大幅降低反应物料以及能耗。

主权项：1.一种改良西门子法、流化床法联合生产工艺，其特征在于，所述工艺包括如下步骤：1氯氢化：以硅粉、氯化氢、四氯化硅和氢气为原料，反应制备TCSSiHCl3；2TCS精制提纯：将步骤1中制备的TCS通过吸附除杂、精馏提纯，除去杂质；3TCS还原反应：将步骤2中制备的TCSSiHCl3通入改良西门子法还原炉中，作为原料，还原生产多晶硅；4将改良西门子法还原炉生产过程中的还原尾气进行回收和纯化，回收DCSSiH2Cl2和TCS，STC，HCl，H2；5将步骤4中从西门子法中回收得到的DCSSiH2Cl2TCS通入歧化装置，进行歧化反应得到硅烷SiH4；6将步骤5中制备的硅烷、以及步骤4中回收的氢气作为原料气通入FBR流化床反应器中，发生非均相沉积生成产品颗粒硅。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏中能硅业科技发展有限公司 一种改良西门子法、流化床法联合生产工艺及装置

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