申请/专利权人：创微微电子(常州)有限公司

申请日：2023-04-28

公开（公告）日：2023-12-05

公开（公告）号：CN220138288U

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.05#授权

摘要：本实用新型涉及清洗技术领域，具体为一种用于晶圆酸槽清洗的夹持机构及湿法清洗设备，通过驱动部和转动部；所述转动部与所述驱动部连接，所述转动部上设置有晶圆盒；所述晶圆盒适于夹持晶圆；所述驱动部适于驱动所述转动部带动所述晶圆盒转动并晃动；实现了在将晶圆夹持后可以使得晶圆抖动和晃动，进而可以在晶圆进入清洗液中浸泡清洗时可以带动晶圆抖动晃动，确保大尺寸晶圆在全自动湿法刻蚀设备中的清洗效果。

主权项：1.一种湿法清洗设备，其特征在于，包括：清洗槽，所述清洗槽适于存放清洗液；夹持机构，所述夹持机构设置在所述清洗槽上方，所述夹持机构适于夹持晶圆并将晶圆放入清洗槽内进行清洗；所述夹持机构包括：驱动部和转动部；所述转动部与所述驱动部连接，所述转动部上设置有晶圆盒；所述晶圆盒适于夹持晶圆；所述驱动部适于驱动所述转动部带动所述晶圆盒转动并晃动；所述驱动部包括：电缸；所述电缸设置在外框架上；所述电缸的伸缩端伸入所述外框架内后与固定板的顶面连接；所述外框架的底面上设置有外固定杆，所述外固定杆的长度方向沿所述电缸伸缩端的伸缩方向设置；所述外固定杆内沿外固定杆的长度方向穿设有内连接杆；所述内连接杆的一端与所述固定板的底面连接，另一端伸出所述外固定杆后与所述转动部连接；所述固定板的顶面设置有若干导杆，所述导杆的长度方向与所述外固定杆的长度方向平行；所述导杆从所述外框架的顶面伸出；所述外框架的顶面上设置有与导杆适配的导套，所述导套套设在对应的导杆上；所述外框架的一侧壁开口设置，并且在该开口的一竖边上设置有上极限件和下极限件；所述上极限件设置在所述下极限件上方；所述固定板上设置有限位销，所述限位销位于所述上极限件与所述下极限件之间；所述转动部包括：连接座；所述外固定杆的一端与所述连接座顶面连接；所述内连接杆伸出所述外固定杆后伸入所述连接座后与连接板连接；所述连接板上设置有一对连杆，两个连杆之间设置有晶圆盒；所述晶圆盒与所述连接座转动连接；所述用于晶圆酸槽清洗的夹持机构还包括：直线模组；所述驱动部设置在所述直线模组上；所述直线模组适于带动所述驱动部进行移动。

全文数据：

权利要求：

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