申请/专利权人：中国计量大学

申请日：2023-03-23

公开（公告）日：2023-12-05

公开（公告）号：CN220136998U

主分类号：G01N21/45

分类号：G01N21/45;G02B6/255

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.05#授权

摘要：本实用新型公开了一种基于硅油填充的光纤MZI氢气浓度传感器，由单模光纤、多模光纤、毛细管、硅油、UV固化胶和氢敏材料组成。单模光纤、多模光纤、毛细管、多模光纤、单模光纤依次熔接，借助飞秒微加工刻蚀技术在毛细管侧面刻蚀微通道，往毛细管里面填充甲基硅油并密封。光在多模光纤扩束后，分为两束进行传输，一束耦合入毛细管外壁，另一束在毛细管填充的硅油内传输，形成MZI。当外界氢气浓度发生改变时，氢敏材料会放热，硅油受热后折射率会发生改变，导致传感器的谐振光谱发生漂移，通过光纤光谱仪记录传感器的透射光谱漂移便可解调出环境中氢气浓度的变化。该传感器具有体积小、灵敏度高、耐腐蚀、成本低和测量精度高等优点，可应用于氢气浓度的高精度测量。

主权项：1.一种基于硅油填充的光纤MZI氢气浓度传感器，包括单模光纤、多模光纤、毛细管、硅油、UV固化胶和氢敏材料，其特征在于:将单模光纤、多模光纤、毛细管、多模光纤、单模光纤依次熔接；通过毛细管侧面的微通道，往毛细管管内填充硅油，用UV胶密封微通道，氢敏材料涂覆在填充好硅油的毛细管侧面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国计量大学 一种基于硅油填充的光纤MZI氢气浓度传感器

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