申请/专利权人：安徽工程大学

申请日：2023-09-14

公开（公告）日：2023-12-26

公开（公告）号：CN117286464A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C22C38/18;C22C38/06;C22C33/04;C21C7/06;C21D8/00;C21D1/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.12#实质审查的生效;2023.12.26#公开

摘要：本发明公开了一种熔炼铸锭制备FeCrAl靶材的方法，其特征在于：所述熔炼铸锭制备的FeCrAl靶材采用真空感应炉熔炼制备而成。该方法包括以下制备步骤；步骤（1）、备料：将准备好的纯Fe、Cr、Al金属按照目标靶材成分进行称重配比；步骤（2）、真空感应炉熔炼：将准备好的纯Fe、纯Cr金属以及脱氧剂分层放入准备好的坩埚中，然后合炉抽真空至80pa时，通电熔化炉料，待炉内压力为20pa左右。本发明通过采用熔炼铸锭中的真空铸锭法制备FeCrAl靶材，此方法可以获得很高成分均匀、杂质含量低、高密度、靶材尺寸大的溅射靶材，以满足溅射的使用，并且制备的FeCrAl溅射靶材相比较其他的制备技术，制备出来的靶材纯度较高、组织致密、并且性能优异，有着强度高，不易碎的优点。

主权项：1.一种熔炼铸锭制备FeCrAl靶材的方法，其特征在于：所述熔炼铸锭制备的FeCrAl靶材采用真空感应炉熔炼制备而成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽工程大学 一种熔炼铸锭制备FeCrAl靶材的方法

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