申请/专利权人：安徽国芯光刻技术有限公司

申请日：2023-08-29

公开（公告）日：2023-12-26

公开（公告）号：CN117289553A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G02B26/08

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.12#实质审查的生效;2023.12.26#公开

摘要：本发明公开了一种光刻机MLA透镜的对准调节系统，涉及光刻机像差调节技术领域，包括有可接收光学系统的曝光光源的DMD反射单元以及可接收DMD反射单元所射出的光束的MLA透镜单元，还包括有可接收MLA透镜单元所折射出的光束的曝光焦面，所述DMD反射单元所射出的光束在MLA透镜单元上第一次成像，经过所述MLA透镜单元再次射出后位于曝光焦面表面二次成像。本发明可驱使棱镜单元调节与横向水平面的夹角度数，以达到折射、矫正光束的目的，提高了由DMD反射单元所射出的多个独立光束与MLA透镜单元内部的多个微透镜相对应过程中的精准度，进一步提高了经过MLA透镜单元射出至曝光基板上光束的质量，提升了曝光焦面上成像的精准度。

主权项：1.一种光刻机MLA透镜的对准调节系统，包括有可接收光学系统的曝光光源的DMD反射单元1以及可接收DMD反射单元1所射出的光束的MLA透镜单元2，其特征在于：还包括有可接收MLA透镜单元2所折射出的光束的曝光焦面3，所述DMD反射单元1所射出的光束在MLA透镜单元2上第一次成像，经过所述MLA透镜单元2再次射出后位于曝光焦面3表面二次成像；由所述DMD反射单元1射出至MLA透镜单元2表面的光路中还设置有调节的棱镜单元，所述棱镜单元可调节与横向水平面的夹角度数，折射光束，驱使DMD反射单元1所射出的图案光束与MLA透镜单元2相对应。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽国芯光刻技术有限公司 一种光刻机MLA透镜的对准调节系统

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