申请/专利权人：弈芯科技(杭州)有限公司

申请日：2023-10-25

公开（公告）日：2023-12-29

公开（公告）号：CN117313648A

主分类号：G06F30/398

分类号：G06F30/398

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.16#实质审查的生效;2023.12.29#公开

摘要：本申请公开了一种获取OPC中雅可比矩阵的方法、实现OPC的方法及装置，在有限差分法中，巧妙地通过对组成designmask的互不相干的线段即变量进行聚类，这样，只需对同一类中的变量进行一次有限差分即可同时得到这一类中各个线段相关的导数，这样大大减少了有限差分的次数，也不需要针对每个线段都分别做一次仿真，大大减少了仿真次数，达到了显著减少运算用时的目的，带来了效率上的巨大提升。通过本申请实施例，在保证达到OPC效果的条件下，尽可能地减少了单次梯度计算中的仿真次数，从而减少了运算用时。

主权项：1.一种获取光学邻近修正OPC中雅可比矩阵的方法，其特征在于，包括：对设计掩模划分得到的线段进行聚类分组，将对仿真结果互不相干的线段划分为同一类，并记录每个线段所影响的测量点；其中，设计掩模是芯片设计对应的掩模图形；针对同一类的线段，分别将同属一类的线段进行偏移，对偏移后得到的掩模进行仿真，并根据仿真结果计算偏移后的掩模与设计掩模上每个测量点的差异；根据所有类的计算结果获取每个测量点关于每个线段的导数，以组成雅可比矩阵。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 弈芯科技(杭州)有限公司 获取OPC中雅可比矩阵的方法、实现OPC的方法及装置

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