申请/专利权人：连云港太平洋半导体材料有限公司

申请日：2023-10-24

公开（公告）日：2024-01-05

公开（公告）号：CN117342783A

主分类号：C03B20/00

分类号：C03B20/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.23#实质审查的生效;2024.01.05#公开

摘要：本发明提供了一种高精度尺寸石英砣制造装置，该高精度尺寸石英砣制造装置包括熔炉、旋转升降机构和红外监测装置，其中，熔炉内部中空，顶部设置有能够向下喷射物料的燃烧器；旋转升降机构位于熔炉的中空腔体内，其上设置有用于承载待加工石英砣的底砣，底砣由旋转升降机构带动旋转机升降；红外监测装置设置于底砣的下方，用于检测位于其上方的待加工石英砣的直径。该技术方案，通过红外监测装置自下而上的监测待加工石英砣的尺寸，以对石英砣的初始沉积直径进行更为有效地监测，避免因初始直径的误差影响石英砣后续制作的尺寸精度，制备的石英砣尺寸精度更高，误差较小，避免了原料的浪费，降低了生产成本。

主权项：1.一种高精度尺寸石英砣制造装置，其特征在于，包括：熔炉2，其内部中空，顶部设置有能够向下喷射物料的燃烧器3；旋转升降机构，其位于所述熔炉2的中空腔体内，其上设置有用于承载待加工石英砣的底砣8，所述底砣8由所述旋转升降机构带动旋转机升降；红外监测装置9，其设置于所述底砣8的下方，用于检测位于其上方的待加工石英砣的直径。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 连云港太平洋半导体材料有限公司 高精度尺寸石英砣制造装置

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