申请/专利权人：南京师范大学

申请日：2020-08-31

公开（公告）日：2024-01-23

公开（公告）号：CN112014358B

主分类号：G01N21/552

分类号：G01N21/552

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.23#授权;2020.12.18#实质审查的生效;2020.12.01#公开

摘要：本发明公开了一种双程表面等离子共振的光学薄膜气体传感器，所述传感器包括高反射镜、Ag膜、TiO2膜、棱镜和反应气室，棱镜包括第一侧面、第二侧面和第三侧面，第一侧面上覆盖高反射镜，第二侧面上覆盖Ag膜，Ag膜的表面覆盖TiO2膜，TiO2膜与反应气室相连，高反射镜能够使得沿第三侧面入射到其表面的光沿原路返回。本发明还公开了一种双程表面等离子共振的光学薄膜气体传感器的制备方法。本发明选择对折射率变化具有良好的折射率响应和高灵敏度的银和二氧化钛为气敏膜，二氧化钛不仅可以保护敏感膜不被氧化，还可以谐调共振波长；传感器的制备工艺简单，易于批量生产，性能好，灵敏度高，模块化，操作简单，使用范围广。

主权项：1.一种用于检测氢气的光学薄膜气体传感器，其特征在于：包括高反射镜（1）、Ag膜（2）、TiO2膜（3）、棱镜（4）和反应气室（5），所述棱镜（4）包括第一侧面（401）、第二侧面（402）和第三侧面（403），所述第一侧面（401）上覆盖高反射镜（1），所述第二侧面（402）上覆盖Ag膜（2），所述Ag膜（2）的表面覆盖TiO2膜（3），所述TiO2膜（3）与反应气室（5）相连，所述高反射镜（1）能够使得沿第三侧面（403）入射到其表面的光沿原路返回；所述反应气室（5）内的气体为氢气。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京师范大学 一种双程表面等离子共振的光学薄膜气体传感器及其制法

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