申请/专利权人：尼瓦罗克斯-法尔股份公司

申请日：2023-07-26

公开（公告）日：2024-01-26

公开（公告）号：CN117452792A

主分类号：G04B17/06

分类号：G04B17/06

优先权：["20220726 EP 22187006.6"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.13#实质审查的生效;2024.01.26#公开

摘要：用于制造硅摆轮游丝的方法。本发明涉及一种用于制造具有功能性外部外形的硅时计部件1的方法。

主权项：1.一种用于制造硅时计部件10的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：a获得SOI晶圆10，所述晶圆接连地包括所谓的硅“装置”层11、氧化硅结合层13和所谓的硅“操纵”层12；b在所述晶圆10的表面上生长氧化硅层；c通过DRIE蚀刻前表面上的氧化硅层，然后蚀刻所述“装置”层11，以形成所述硅时计部件1，以及内部锚固元件7和在内壁的非关键区域中将所述锚固元件连接至所述时计部件的内壁的材料桥8；d通过DRIE蚀刻后表面上的氧化硅层，然后蚀刻所述“操纵”层12，以形成至少一个窄桥9和与所述至少一个窄桥9成一体的至少一个后部锚固件9'，所述后部锚固件9'通过使所述“装置”层和所述“操纵”层结合的所述氧化硅结合层13连接至所述“装置”层的所述锚固元件7；e通过湿法蚀刻释放所述时计部件1，所述时计部件1通过所述锚固元件7经由所述材料桥8保持在所述晶圆10上，所述氧化物结合层仅在所述“装置”层和所述“操纵”层两者都未被湿法蚀刻而蚀刻掉的地方留存，并且整体搁置在所述至少一个后部锚固件9'上，所述后部锚固件连接至所述至少一个窄桥9，所述窄桥9本身连接至所述“操纵”层，从而使得所述部件的所有面是可通达的。

全文数据：

权利要求：

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