申请/专利权人：塞莫费雪科学(不来梅)有限公司;加利福尼亚技术学院

申请日：2020-08-03

公开（公告）日：2024-01-30

公开（公告）号：CN114026670B

主分类号：H01J49/02

分类号：H01J49/02;H01J49/06

优先权：["20190806 US 16/533,221"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.30#授权;2022.02.25#实质审查的生效;2022.02.08#公开

摘要：本发明涉及一种用于分析粒子的系统，所述系统包括：NEMS装置，所述NEMS装置包括至少一个NEMS传感器，所述NEMS传感器用于检测撞击所述至少一个NEMS传感器的粒子，每个NEMS传感器包括NEMS传感器区域；粒子透镜组合件，所述粒子透镜组合件包括至少一个粒子透镜，所述粒子透镜用于将粒子聚焦到所述至少一个NEMS传感器中的NEMS传感器上，其中所述粒子透镜组合件与所述至少一个NEMS传感器区域间隔开一定分隔距离，其中所述系统被配置成将限定在所述粒子透镜组合件与所述NEMS装置之间的空间维持在一定压力下，在所述压力下，参考粒子的平均自由路径大于所述分隔距离。本发明还涉及对应的方法。

主权项：1.一种用于分析粒子的方法，所述方法包括利用系统，所述系统包括：NEMS装置，所述NEMS装置包括至少一个NEMS传感器，所述NEMS传感器用于检测撞击所述至少一个NEMS传感器的粒子，每个NEMS传感器包括NEMS传感器区域；粒子透镜组合件，所述粒子透镜组合件包括至少一个粒子透镜，所述粒子透镜用于将粒子聚焦到所述至少一个NEMS传感器的所述NEMS传感器区域上，其中所述粒子透镜组合件与所述至少一个NEMS传感器区域间隔开一定分隔距离，其中所述系统被配置成将所述粒子透镜组合件与所述NEMS装置之间的空间维持在一定压力下，在所述压力下，参考粒子的平均自由路径大于所述分隔距离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司;加利福尼亚技术学院 用于分析粒子，并且具体是粒子质量的系统

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