申请/专利权人:上海富乐华半导体科技有限公司
申请日:2023-09-20
公开(公告)日:2024-02-02
公开(公告)号:CN117486628A
主分类号:C04B37/02
分类号:C04B37/02;B65G47/24;H01L21/48;H01L23/15;F27B21/14;F27B21/10;F27B21/08;H04N9/31;H04N23/57
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开
摘要:本发明涉及烧结技术领域。一种用陶瓷小球作为隔离物的DCB双面同时烧结的方法,在烧结炉的输送带上放置烧结治具,在烧结治具上从下至上依次摆放下铜箔、陶瓷基板以及上铜箔,进行双面烧结;所述烧结治具包括垫板,所述垫板的四周连接有限位框,所述垫板上铺设有陶瓷小球,所述限位框用于对陶瓷小球进行限位,所述下铜箔放置在所述陶瓷小球上方;所述陶瓷小球的外径为1‑5mm。本发明通过在垫板与铜箔之间设置有陶瓷小球,实现了下铜箔与垫板的隔离,降低隔离物与铜片接触面积,陶瓷小球也不会污染产品,实现了双面同时烧结。陶瓷小球与下铜箔的接触区域采用点阵式的点接触,提高了烧结时的抗剥落强度。
主权项:1.一种用陶瓷小球作为隔离物的DCB双面同时烧结的方法,其特征在于,在烧结炉的输送带上放置烧结治具,在烧结治具上从下至上依次摆放下铜箔、陶瓷基板以及上铜箔,进行双面烧结;所述烧结治具包括垫板,所述垫板的四周连接有限位框,所述垫板上铺设有陶瓷小球,所述限位框用于对陶瓷小球进行限位,所述下铜箔放置在所述陶瓷小球上方;所述陶瓷小球的外径为1-5mm。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海富乐华半导体科技有限公司 一种用陶瓷小球作为隔离物的DCB双面同时烧结的方法
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