申请/专利权人：哈尔滨工业大学

申请日：2023-10-19

公开（公告）日：2024-02-02

公开（公告）号：CN117500136A

主分类号：H05H1/46

分类号：H05H1/46;H05H1/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开

摘要：本发明提供了一种高效产生大体积ECR等离子体装置，所述ECR等离子体装置包括微波源、磁场线圈、微波传输系统和辅助系统，所述微波源产生的微波经微波传输系统馈入真空室中的磁场产生等离子体；所述辅助系统包括供电系统、水冷系统、检测保护系统、支撑运动系统和控制系统，供电系统与外部电源、微波源和磁场线圈连接，水冷系统与外部供水系统和微波源连接，检测保护系统负责检测微波产生和传输过程中可能出现的打火现象并且可以控制关停微波源，支撑运动系统负责调节馈入位置和角度，控制系统控制信号采集、信号输出和微波馈入角度、位置。本发明的ECR等离子体装置能量耦合效率高，产生等离子体的区域大，可以产生高密度大体积等离子体。

主权项：1.一种高效产生大体积ECR等离子体装置，其特征在于所述ECR等离子体装置包括微波源、磁场线圈、微波传输系统和辅助系统，其中：所述微波源后接微波传输系统，磁场线圈位于真空室中为其提供磁场，微波源产生的微波经微波传输系统馈入真空室中的磁场产生等离子体；所述辅助系统包括供电系统、水冷系统、检测保护系统、支撑运动系统和控制系统；所述供电系统与外部电源、微波源和磁场线圈连接，为ECR等离子体装置提供电力；所述水冷系统与外部供水系统和微波源连接，为微波源供水冷却；所述检测保护系统负责检测微波产生和传输过程中可能出现的打火现象并且可以控制关停微波源，以保护ECR等离子体装置；所述支撑运动系统为微波传输系统提供机械支撑且负责调节馈入位置和角度；所述控制系统分为微波源控制系统和电机控制系统，分别接入微波源和支撑运动系统，控制信号采集、信号输出和微波馈入角度、位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工业大学 一种高效产生大体积ECR等离子体装置

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