申请/专利权人：中国科学院近代物理研究所

申请日：2023-11-23

公开（公告）日：2024-02-23

公开（公告）号：CN117588945A

主分类号：F27B14/06

分类号：F27B14/06;F27B14/14;F27B14/10;F27B14/08;F27B14/12

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.12#实质审查的生效;2024.02.23#公开

摘要：本发明涉及熔融炉技术领域，提供一种ECR离子源电阻炉，包括陶瓷坩埚，具有炉口，且所述陶瓷坩埚的内部装有难熔金属；加热线圈，位于所述陶瓷坩埚的外周，且所述加热线圈和所述陶瓷坩埚之间具有间隙；所述加热线圈用于形成电流回路为所述陶瓷坩埚加热。本发明提供的ECR离子源电阻炉，通过加热线圈位于陶瓷坩埚的外周并通入电流，加热线圈用于形成电流回路为陶瓷坩埚加热，以得到难熔金属蒸气，加热线圈的电阻相对钽坩埚较大，因此，采用本发明提供的ECR离子源电阻炉，大幅降低了电阻炉的运行电流，不仅减小了ECR离子源强磁场对电阻炉的影响，避免变形，提高电阻炉的使用寿命，而且还能够精简电源等附属设备。

主权项：1.一种ECR离子源电阻炉，其特征在于，包括：陶瓷坩埚1，具有炉口，且所述陶瓷坩埚1的内部装有难熔金属；加热线圈2，位于所述陶瓷坩埚1的外周，且所述加热线圈2和所述陶瓷坩埚1之间具有间隙；所述加热线圈2用于形成电流回路为所述陶瓷坩埚1加热。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院近代物理研究所 ECR离子源电阻炉

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