申请/专利权人：中国科学院近代物理研究所

申请日：2022-04-13

公开（公告）日：2023-09-29

公开（公告）号：CN114828382B

主分类号：H05H15/00

分类号：H05H15/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.09.29#授权;2022.08.16#实质审查的生效;2022.07.29#公开

摘要：本发明涉及一种混合超导ECR离子源装置，包括：等离子体放电室以及固定安装在所述等离子体放电室外侧的注入系统、磁体系统和束流引出系统；所述注入系统与所述等离子体放电室的注入端密封连接，用于向所述等离子体放电室内提供微波功率和被电离材料；所述磁体系统包括依次套设在所述等离子体放电室外侧的多极永磁体和超导线圈磁体，所述超导线圈磁体用于形成轴向磁镜场，所述多极永磁体用于形成径向磁镜场；所述束流引出系统密封连接在所述等离子体放电室的引出端，用于将形成的高电荷的离子体束流引出。

主权项：1.一种混合超导ECR离子源装置，其特征在于，包括：等离子体放电室以及固定安装在所述等离子体放电室外侧的注入系统、磁体系统和束流引出系统；所述注入系统与所述等离子体放电室的注入端密封连接，用于向所述等离子体放电室内提供微波功率和被电离材料；所述磁体系统包括依次套设在所述等离子体放电室外侧的多极永磁体和超导线圈磁体，所述超导线圈磁体用于形成轴向磁镜场，所述多极永磁体用于形成径向磁镜场；所述束流引出系统密封连接在所述等离子体放电室的引出端，用于将形成的高电荷的离子体束流引出；所述磁体系统还包括套设在所述多极永磁体外侧的有机绝缘罩，所述超导线圈磁体固定安装在所述有机绝缘罩的外侧；所述超导线圈磁体包括安装骨架以及沿着轴向方向间隔安装在所述安装骨架上的四组超导线圈，所述超导线圈磁体的注入端线圈用于形成最高注入磁场Binj，所述超导线圈磁体的引出端线圈用于形成最高引出磁场Bext，所述注入端线圈和引出端线圈之间安装有两组中间线圈，两组所述中间线圈用于调节中间最低磁场Bmin；所述的混合超导ECR离子源装置还包括制冷机和绝热杜瓦容器，所述制冷机固定安装在所述超导线圈的外侧，所述杜瓦容器套设在所述制冷机和超导线圈磁体的外侧，所述制冷机和绝热杜瓦容器用于为所述超导线圈提供低温环境。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院近代物理研究所 一种混合超导ECR离子源装置

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