申请/专利权人：大连皓宇电子科技有限公司

申请日：2023-07-28

公开（公告）日：2024-02-09

公开（公告）号：CN117198954B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;C23C16/52;C23C14/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.09#授权;2023.12.26#实质审查的生效;2023.12.08#公开

摘要：本发明公开了一种大气机械臂ATM与真空机械臂VAC取、放晶圆方法，包括：大气机械臂从晶圆盒内获取未镀膜的晶圆后，先确定LoadLock的哪个腔室能实现大气机械臂调度执行放片及取片方法，如果上腔室能实现则大气机械臂进入上腔室进行调度，如果下腔室能实现则大气机械臂进入下腔室进行调度；如果上腔室和下腔室均能实现则大气机械臂先进入上腔室进行调度再进入下腔室进行调度；如果上腔室和下腔室均不能实现，则确定哪个腔室能实现大气机械臂调度执行放片方法或大气机械臂调度执行取片方法；两个独立的上腔室和下腔室不区分出入腔，每个腔室都有出入的可能性，大气机械臂、真空机械臂可以在LoadLock门开启的时候做一套放、取片动作。

主权项：1.一种大气机械臂ATM与真空机械臂VAC取、放晶圆方法，其特征在于，包括：大气机械臂从晶圆盒内获取未镀膜的晶圆后，先确定LoadLock的哪个腔室能实现大气机械臂调度执行放片及取片方法，如果上腔室能实现则大气机械臂进入上腔室进行调度，如果下腔室能实现则大气机械臂进入下腔室进行调度；如果上腔室和下腔室均能实现则大气机械臂先进入上腔室进行调度再进入下腔室进行调度；如果上腔室和下腔室均不能实现，则确定哪个腔室能实现大气机械臂调度执行放片方法或大气机械臂调度执行取片方法；真空机械臂从工艺腔获取镀膜完成的晶圆后，先确定LoadLock的哪个腔室能实现真空机械臂调度执行放片及取片方法，如果上腔室能实现则真空机械臂进入上腔室进行调度，如果下腔室能实现则真空机械臂进入下腔室进行调度；如果上腔室和下腔室均能实现则真空机械臂先进入上腔室进行调度再进入下腔室进行调度；如果上腔室和下腔室均不能实现，则确定哪个腔室能实现真空机械臂调度执行放片方法或真空机械臂调度执行取片方法。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 大连皓宇电子科技有限公司 一种大气机械臂ATM与真空机械臂VAC取、放晶圆方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD