申请/专利权人：江苏师范大学

申请日：2022-05-27

公开（公告）日：2024-02-09

公开（公告）号：CN114990494B

主分类号：C23C14/30

分类号：C23C14/30;C23C14/18;B82Y40/00;G01N21/65

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.09#授权;2022.09.20#实质审查的生效;2022.09.02#公开

摘要：本发明公开了一种金纳米层包覆银纳米棒阵列的松塔结构SERS基底及其制备方法，属于纳米技术领域。该SERS基底的制备方法包括：利用倾斜角沉积技术制备均一性和重复度高的银纳米棒阵列结构，再通过动态阴影沉积技术蒸镀不同厚度的金纳米层，获得不同形貌的金层包覆银纳米棒阵列的“松塔”结构SERS基底。该SERS基底具有更好的化学稳定性和更高的SERS活性，比单一金属结构检测更有优势。本发明的“松塔”结构SERS基底具有十分优异的表面增强拉曼散射能力，制备过程简单、灵敏度高、增强效果显著、可修饰性及可重复性强、可大规模生产。

主权项：1.一种金纳米层包覆银纳米棒阵列的松塔结构SERS基底的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）在电子束蒸发系统中，利用倾斜角沉积技术在洁净的玻璃片上制备银纳米棒阵列结构；（2）利用动态阴影沉积效应在步骤（1）制备的银纳米棒阵列上蒸镀不同厚度的金纳米层；具体步骤如下：设置蒸汽源入射角度相对于样品台法线为θ=86°，以速率为0.05-0.1nms生长不同厚度的金纳米层，沉积开始时样品台面自转角度ψ启用，自转速率为1°s；（3）定量检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏师范大学 一种金纳米层包覆银纳米棒阵列的松塔结构SERS基底及其制备方法

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