申请/专利权人：北京理工大学

申请日：2023-10-13

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN117606752A

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本发明公开的中心偏差监测调整激光差动共焦顶焦距测量方法与装置，属于精密光学检测领域。本发明在对自准直光路和差动共焦定焦光路进行共路设计，采用光路自准直原理对被测元件进行偏心监测，结合五维调整结构对被测元件的安装偏心和倾斜位姿误差进行补偿，保证被测元件轴线与测量光轴严格重合，从而消除阿贝误差；利用激光差动共焦光路对被测透镜顶点和焦点进行高分辨定焦，有效克服环境气流和元件面形等因素影响，实现对被测元件顶焦距参数的高分辨、高精度测量。本发明通过五维调整对被测元件的偏心和离轴量进行补偿，能够适用于球面元件、轴对称非球面元件等多种面形。

主权项：1.中心偏差监测调整激光差动共焦顶焦距测量方法，其特征在于：利用光路自准直原理对被测元件进行偏心监测，结合五维调整结构对被测元件的安装偏心和倾斜位姿误差进行补偿，保证被测元件轴线与测量光轴严格重合，从而消除阿贝误差；利用激光差动共焦光路对被测元件顶点和焦点进行高分辨定焦，实现对被测元件焦距参数的高分辨、高精度测量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京理工大学 中心偏差监测调整激光差动共焦顶焦距测量方法与装置

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