申请/专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

申请日：2018-06-20

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN110616410B

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C14/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.27#授权;2020.01.21#实质审查的生效;2019.12.27#公开

摘要：本发明公开了一种样品台，包括固定装置、冷却装置、加热装置，旋转装置以及样品托盘。所述冷却装置和所述加热装置同时固定于所述固定装置上，所述冷却装置设置于所述加热装置的中间，所述旋转装置包括旋转罩，所述样品托盘固定在所述旋转罩开口处；本发明还公开了一种掠角沉积设备，包括转动臂、主动齿轮和所述样品台，样品台一端与所述转动臂连接。本发明的样品台实现了在实验过程中不改变样品位置进行原位加热和冷却，使得高真空和超高真空薄膜沉积系统中的通用设备上的实验对温度调控范围更广，实验结果更为精确有效。

主权项：1.一种掠角沉积设备，其特征在于，包括转动臂、主动齿轮和样品台，样品台回转中心与转动臂转动中心相垂直，所述样品台包括一端用于连接工艺设备的固定装置（1）、冷却装置（2）、加热装置（3），旋转装置（4）以及外表面用于放置样品的样品托盘（5），所述旋转装置（4）包括旋转罩（41），所述样品托盘（5）固定在所述旋转罩（41）开口处与旋转罩（41）形成容纳空间，所述冷却装置（2）和所述加热装置（3）至少局部位于所述容纳空间内且同时固定于所述固定装置（1）上，所述冷却装置（2）与所述样品托盘（5）内表面抵接，所述固定装置（1）包括一端用于连接工艺设备的固定套管（11）、从动齿轮盘（12）、转动轴承（13）和固定盘（14），所述固定盘（14）连接在所述固定套管（11）的另一端，所述从动齿轮盘（12）通过所述转动轴承（13）与所述固定套管（11）配合连接，所述固定套管（11）一端与所述转动臂连接，所述主动齿轮与所述从动齿轮盘（12）啮合；所述冷却装置（2）包括冷却腔体（21）、导管（22）、第一支撑杆（23）和低温传导铜辫（24），所述冷却腔体（21）设置在所述固定盘（14）的下方，所述第一支撑杆（23）一端与所述冷却腔体（21）相对固定，另一端与所述固定盘（14）相对固定，所述低温传导铜辫（24）固定在所述冷却腔体（21）底部并与所述样品托盘（5）内表面抵接，所述导管（22）一端与所述冷却腔体（21）连通，另一端与冷却液供给设备连接；所述加热装置（3）包括隔热罩固定板（31）、加热器（32）、隔热罩（33）和第二支撑杆（34），所述隔热罩固定板（31）位于所述固定盘（14）下方，所述第二支撑杆（34）一端与所述隔热罩固定板（31）相对固定，另一端与所述固定盘（14）相对固定，所述隔热罩（33）位于所述隔热罩固定板（31）和所述加热器（32）之间并与所述隔热罩固定板（31）相对固定；所述旋转装置（4）还包括第三支撑杆（42），所述第三支撑杆（42）一端与所述旋转罩（41）相对固定，另一端与所述从动齿轮盘（12）相对固定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 一种掠角沉积设备及其样品台

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