申请/专利权人：大连理工大学

申请日：2023-11-28

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN117637429A

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;B08B7/00;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要：本发明提供一种用于晶圆表面清洗的管‑管型阵列式DBD等离子体清洗方法与装置，特别涉及在大气压下放电而产生等离子体并将其通过气流将其传至晶圆表面，属于等离子体清洗技术领域。采用多管高低压电极交错排布结构，等离子体在相邻两个管高低压电极之间产生，通过增加管电极数量能够形成大面积均匀DBD等离子体区域，在高低压电极间隙通入垂直气流，将等离子体中产生的活性物质快速传至材料表面，并与表面污染物迅速反应生成易挥发气体，实现污染表面的高效清洗。本发明还可以通过调整电极间距，增加电极对数等来提高清洗效果，结构较为简单易于实现，为大气压放电等离子体在等离子体清洗领域应用提供参考。

主权项：1.一种用于晶圆表面清洗的管-管型阵列式DBD等离子体清洗装置，其特征在于，所述的装置包括高压电源1、高压管电极2、接地管电极3、导线4、流量计5、气体均流板6、样品台7、绝缘支架8；所述的高压管电极2、接地管电极3均为中空管状结构，其外层由绝缘材料作为介质，内部填充导电材料作为电极；所述高压管电极2与接地管电极3的排布为交错排布的方式，放电间隙为0.5mm-10mm，从高压管电极2与接地管电极3的内部引出导电丝作为导线4，高压管电极2通过导线4与高压电源1相连，接地管电极3通过导线4与地线相连，当高压电源1输出电压达到电极间气体击穿电压时，在管高压电极2与管接地电极3之间的区域内产生等离子体；所述的气体均流板6通过绝缘支架8布置于高压管电极2与接地管电极3上方，与流量计5相连，气体经过气体分布管6后能够产生垂直于管高压电极2与管低压电极3之间间隙的高速气流；所述的样品台7通过绝缘支架8布置于高压管电极2与接地管电极3下方，用于放置待处理的晶圆。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 大连理工大学 一种晶圆表面清洗的管-管型阵列式DBD等离子体清洗方法与装置

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