申请/专利权人：华南师范大学;浙江大学嘉兴研究院

申请日：2023-12-13

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN117631146A

主分类号：G02B6/14

分类号：G02B6/14;G02B6/122;G02B6/12

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要：本发明公开了一种基于薄膜铌酸锂波导超模演化的偏振转换器，包括自下而上依次层叠设置的硅衬底层、埋氧层、铌酸锂层和二氧化硅上包层，其中铌酸锂层包括依次连接的输入端波导、输入模式转换器、第一S弯曲波导、相移器、第二S弯曲波导、输出模式转换器和输出端波导。当输入端波导的横电基模TE0输入时，通过输入模式转换器绝热演变为三波导系统的横电对称模TEs0，通过相移器转换为三波导系统的横电反对称模TEs1,最后通过输出模式转换器杂化演变为输出端波导的横磁基模TM0；当输入端波导的TM0模输入时，实现相反的模式演化过程最终变为TE0输出。本发明实现了两个偏振态的相互转换，具备大带宽、高消光比、低插入损耗以及大工艺容差等优点。

主权项：1.一种基于薄膜铌酸锂波导超模演化的偏振转换器，其特征在于：包括自下而上依次层叠设置的硅衬底层、埋氧层、铌酸锂层和二氧化硅上包层；通过刻蚀技术在X切铌酸锂层形成薄膜铌酸锂光波导；薄膜铌酸锂光波导包含了依次连接的输入端波导、输入模式转换器、第一S弯曲波导、相移器、第二S弯曲波导、输出模式转换器和输出端波导。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华南师范大学;浙江大学嘉兴研究院 一种基于薄膜铌酸锂波导超模演化的偏振转换器

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