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【发明公布】一种基于莫尔衍射光学元件的平面光学元件对准系统_同济大学_202311762826.7 

申请/专利权人:同济大学

申请日:2023-12-20

公开(公告)日:2024-03-01

公开(公告)号:CN117631312A

主分类号:G02B27/62

分类号:G02B27/62;G02B7/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要:本发明涉及一种基于莫尔衍射光学元件的平面光学元件对准系统,该系统包括:待对准平面光学元件、连续谱光源、多光谱相机和光学子系统,其中:所述光学子系统,该子系统为基于莫尔衍射光学元件MODEs的光学子系统,用于将所述连续谱光源生成的多色光聚焦到不同深度的所述待对准平面光学元件的表面上,并将所述表面反射的反射光返回所述多光谱相机,以获取多个不同深度的所述表面的相同放大倍率的成像,通过调整所述莫尔衍射光学元件MODEs,在所述成像均为清晰图像时,完成对所述待校准平面光学元件的对准。与现有技术相比,本发明具有对准精度高、结构简单、功能丰富等有益效果。

主权项:1.一种基于莫尔衍射光学元件的平面光学元件对准系统,其特征在于,所述系统包括待对准平面光学元件、连续谱光源、多光谱相机和光学子系统,其中:所述光学子系统,该子系统为基于莫尔衍射光学元件MODEs的光学子系统,用于将所述连续谱光源生成的多色光聚焦到不同深度的所述待对准平面光学元件的表面上,并将所述表面反射的反射光返回所述多光谱相机,以获取多个不同深度的所述表面的相同放大倍率的成像,通过调整所述莫尔衍射光学元件MODEs,在所述成像均为清晰图像时,完成对所述待校准平面光学元件的对准。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 同济大学 一种基于莫尔衍射光学元件的平面光学元件对准系统

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