申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2023-08-31

公开（公告）日：2024-03-05

公开（公告）号：CN117650041A

主分类号：H01L21/02

分类号：H01L21/02;H01L21/67;H01L21/687;B08B1/12;B08B1/36;B08B3/04;B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;G01D21/02

优先权：["20220901 JP 2022-139300"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.22#实质审查的生效;2024.03.05#公开

摘要：本发明提供一种能够在抑制成本的同时提高检测精度的基板处理装置及刷子的脱落检测方法。由于检测部DU检测到最大压入高度H3，所以控制部能够判断成刷子99已经脱落。由于检测部DU是基于按压机构81的动作检测到达了最大压入高度H3这一情况，所以能够将检测部DU配置在不会接触到飞散的处理液的部位。因此，无需以耐药性的材料构成检测部DU。其结果为，能够抑制成本。另外，由于没有处理液附着于检测部DU而导致光散射的隐患，所以能够提高检测精度。

主权项：1.一种基板处理装置，使刷子相对于基板作用而清洗基板，所述基板处理装置的特征在于，具备：旋转保持部，其以水平姿势保持基板，并且使基板旋转；刷子，其作用于所述旋转保持部所保持的基板的上表面；刷子保持件，其将所述刷子装拆自如地安装；按压机构，其经由所述刷子保持件使所述刷子在无载荷高度、作用高度和最大压入高度的范围内移动，其中该无载荷高度是距所述基板的上表面最高、且不使所述刷子相对于所述基板作用的高度，该作用高度是比所述无载荷高度低、且使所述刷子以规定载荷作用于所述基板的高度，该最大压入高度是比所述作用高度低、且使所述刷子移动到最低位置的高度；检测部，其基于所述按压机构的动作，检测到达了所述最大压入高度这一情况；以及控制部，其在基板载置于所述旋转保持部的状态下，对所述按压机构进行操作而使所述刷子移动到所述作用高度时，在所述检测部检测到所述最大压入高度的情况下，判断成所述刷子已经脱落。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置及刷子的脱落检测方法

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