申请/专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司

申请日：2022-09-07

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117718255A

主分类号：B08B1/12

分类号：B08B1/12;B08B1/36;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.19#公开

摘要：本申请涉及一种半导体清洗设备的刷子运动装置和半导体清洗设备。其中，该半导体清洗设备的刷子运动装置通过四个导向轴承与主轴驱动连接，且围绕主轴形成等夹角设置，四个导向轴承在进行旋转时适于带动主轴进行旋转；旋转驱动单元通过传动组件与轴承组件连接，旋转驱动单元用于通过传动组件驱动轴承组件进行旋转，进而使得四个导向轴承带动主轴进行旋转；轴承组件设置在固定架；固定架固定于底部安装板；底部安装板和旋转驱动单元均与支撑架连接；升降驱动单元用于驱动支撑架进行上升和下降，从而使得底部安装板同步固定架带动轴承组件上升和下降，进而通过轴承组件上的四个导向轴承带动主轴上升和下降的方式。提高了半导体清洗设备的使用寿命。

主权项：1.一种半导体清洗设备的刷子运动装置，其特征在于，包括：与刷子连接的主轴、固定架、升降驱动单元、旋转驱动单元、设置有四个导向轴承的轴承组件、传动组件、底部安装部、支撑架；其中，所述传动组件设置在所述轴承组件上；所述主轴穿过所述固定架和所述传动组件；所述四个导向轴承与所述主轴驱动连接，且围绕所述主轴形成等夹角设置，所述四个导向轴承在进行旋转时适于带动所述主轴进行相应的旋转；所述旋转驱动单元通过所述传动组件与所述轴承组件连接，所述旋转驱动单元用于通过所述传动组件驱动所述轴承组件进行旋转，进而使得所述四个导向轴承带动所述主轴进行旋转；所述轴承组件设置在所述固定架，并能随所述固定架同步运动；所述固定架固定于所述底部安装板，并能随所述底部安装板同步运动；所述底部安装板和所述旋转驱动单元均与所述支撑架连接，并均能随所述支撑架同步运动；所述升降驱动单元用于驱动所述支撑架进行上升和下降，从而使得底部安装板同步所述固定架带动所述轴承组件上升和下降，进而通过所述轴承组件上的四个所述导向轴承带动主轴上升和下降。

全文数据：

权利要求：

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