申请/专利权人:中国医学科学院放射医学研究所
申请日:2024-01-31
公开(公告)日:2024-03-08
公开(公告)号:CN117665013A
主分类号:G01N23/04
分类号:G01N23/04;G01T1/17;G01T1/24
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开
摘要:本发明公开微结构气体探测器探测器读出电路结构及微结构气体探测器。微结构气体探测器读出电路结构包括至少三个芯板,每个芯板两个表面形成两个金属层,形成六层金属层,自上而下依次为Pad层、U维导线连接层、第一地层、V维导线连接层、第二地层、W维导线连接层;Pad层布置多个读出Pad,形成读出Pad阵列且相邻读出Pad间留缝隙;读出Pad中心有过孔,U维导线连接层、V维导线连接层、W维导线连接层各自的导线与读出Pad过孔连接,形成所在层的Pad读出条,导线位于读出Pad间的缝隙对应位置处。本发明能实现“二维定位,三维判选”的读出方案,高计数率下可实现多次事例判选,提高数据分析的质量和效率。
主权项:1.微结构气体探测器读出电路结构,其特征在于,为三维读出电路结构,包括至少三个芯板,每个芯板两个表面形成两个金属层,形成六层金属层,六层金属层自上而下依次为Pad层、U维导线连接层、第一地层、V维导线连接层、第二地层、W维导线连接层;所述Pad层布置多个读出Pad,形成读出Pad阵列且相邻读出Pad间留有缝隙;所述读出Pad中心有过孔,所述U维导线连接层、V维导线连接层以及W维导线连接层各自布置有一层导线,每层的所述导线与所述读出Pad的过孔连接,形成所在层的Pad读出条,所述导线位于所述读出Pad间的缝隙对应位置处。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国医学科学院放射医学研究所 微结构气体探测器读出电路结构及微结构气体探测器
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