申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司

申请日：2021-02-08

公开（公告）日：2024-03-08

公开（公告）号：CN113913784B

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/503;C23C16/505

优先权：["20201113 US 17/097,820"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.08#授权;2022.01.28#实质审查的生效;2022.01.11#公开

摘要：一种气体幕帘元件、传送气体的导管系统与传送气体的方法，气体幕帘元件包含一导管衬套和一导管接头。导管衬套包含通过导管衬套的一螺旋形通风口。导管接头围绕导管衬套的一部分，导管接头包含与导管衬套的螺旋形通风口呈流体连通的多个气体进入端口。用于从气体容纳腔室，其用于处理形成半导体元件的基材，传送气体的导管系统，包含具有螺旋形通风口的衬套。导管系统利用气体的幕帘以防止或减少材料至从气体容纳腔室传送气体的导管的内部表面上的沉积。

主权项：1.一种气体幕帘元件，其特征在于，包含：一导管衬套，该导管衬套包含通过该导管衬套的一螺旋形通风口，该螺旋形通风口具有一第一宽度，沿着该导管接头附近的该导管衬套的一长度所量测，且该螺旋形通风口具有一第二宽度，在距该导管接头量测该第一宽度的一位置更远的一位置处，沿着该导管衬套的一长度所量测，其中该第二宽度大于该第一宽度；及一导管接头，围绕该导管衬套的一部分，该导管接头包含与该导管衬套的该螺旋形通风口呈流体连通的多个气体进入端口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 气体幕帘元件、传送气体的导管系统与传送气体的方法

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