申请/专利权人：珠海市申科谱工业科技有限公司

申请日：2023-12-20

公开（公告）日：2024-03-12

公开（公告）号：CN117686886A

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.29#实质审查的生效;2024.03.12#公开

摘要：本发明公开了一种芯片高低温测试与AOI检测设备及检测方法，该检测设备包括底座、低温探针测试机构、高温探针测试机构、AOI检测机构和搬运机构，AOI检测机构包括正面检测模组、前端面检测模组、后端面检测模组、背面检测模组和AOI转台模组，AOI转台模组安装在底座上且位于高温探针测试机构的左侧，正面检测模组设置在AOI转台模组的上方，前端面检测模组、后端面检测模组和背面检测模组环绕AOI转台模组且沿其旋转方向设置，搬运机构包括第一吸嘴模组和第二吸嘴模组；本发明还提供采用该检测设备进行检测芯片的方法，能够在一台设备上进行芯片高低温测试和多面AOI检测，自动化程度高，提高检测效率，降低生产成本。

主权项：1.一种芯片高低温测试与AOI检测设备，其特征在于，包括：底座（100）；低温探针测试机构（200），所述低温探针测试机构（200）安装在所述底座（100）上；高温探针测试机构（300），所述高温探针测试机构（300）安装在所述底座（100）上且位于所述低温探针测试机构（200）的左侧；AOI检测机构（400），所述AOI检测机构（400）包括正面检测模组（410）、前端面检测模组（420）、后端面检测模组（430）、背面检测模组（440）和AOI转台模组（450），所述AOI转台模组（450）安装在所述底座（100）上且位于所述高温探针测试机构（300）的左侧，所述正面检测模组（410）设置在所述AOI转台模组（450）的上方，所述前端面检测模组（420）、所述后端面检测模组（430）和所述背面检测模组（440）环绕所述AOI转台模组（450）且沿所述AOI转台模组（450）旋转方向设置；搬运机构（500），所述搬运机构（500）包括第一吸嘴模组（510）和第二吸嘴模组（520），所述第一吸嘴模组（510）设置在所述低温探针测试机构（200）和所述高温探针测试机构（300）之间，所述第二吸嘴模组（520）设置在所述高温探针测试机构（300）和所述AOI检测机构（400）之间。

全文数据：

权利要求：

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